MEMS陀螺主要用于惯性单元中，属于军民融合产品，应用于舰艇、飞机、航天宇航、制导武器、战车等军用领域；以及大地测量、资源勘测、地球物理测量、海洋探测、铁路、无人机、智能驾驶等民用领域。
清华大学研发的MEMS惯性单元精度性能居于国内顶尖，达到国际领先水平，填补了国产产品在无人智能平台、资源勘探、小卫星姿态控制等应用领域的空白；团队掌握m-PNT惯性导航单元全套技术，属国内唯一。
团队长期从事MEMS惯性产品的科研工作，对于MEMS惯性产品的设计、生产、试验和运行情况非常了解。依托科研项目，已成功完成产品初样和试样的研发，下一步的工作主要集中在生产工艺上。全自主知识产权国产化MEMS惯性测量单元（IMU），以及m-PNT集成方案（微型电机、微型角传感器），具备3-5年的领先优势。
团队主要成员是“三清”教授及工程师，在微机械惯性仪表及系统、高精度惯性仪表及系统领域具有二十年的研发、生产经验。团队包括973首席科学家一人，享受国务院特殊津贴。团队在经常作为专家参加微惯性仪表与系统等相关项目的技术评审，在微惯性仪表与系统行业内具有较强的话语权。